|
|||||
|
|
|
|
MEMS ±â¸»ÀÚ·á´Â ÀÚ·á½Ç-ÀϹÝÀÚ·á¿¡ ÀÖ½À´Ï´Ù. |
|
|
|||||
|
|||||
|
|
|
About MEMS(Microelectromechanical systems) |
| ||
|
|
| ||
|
»ý¸í°øÇп¡¼´Â »ýü³ª »ýüÀ¯·¡¹°Áú ¶Ç´Â »ý¹°ÇÐÀû ½Ã½ºÅÛÀ» ÀÌ¿ëÇÏ¿© »ê¾÷ÀûÀ¸·Î À¯¿ëÇÑ Á¦Ç°À» Á¦Á¶Çϰųª Àΰ£ À¯Àüü Çؼ® ¹× ±â´É ¿¬±¸, ÀǾàÇ° ¾ÈÀü¼º Æò°¡±â¼ú, µ¿¹° ÇüÁúÀüȯ±â¼ú, ¹Ì»ý¹° ¶Ç´Â ½Ä¹° À¯Àüü Çؼ® ¹× ±â´É ¿¬±¸µîÀ» Ãë±ÞÇÏ°í ÀÖ´Ù. ±×·¯³ª ÀÌ·± ¿¬±¸°úÁ¤À» ÀÌÀü¿¡´Â ´ë±Ô¸ðÀÇ ½ÇÇè½Ç¿¡¼ ÀÌ·ç¾î Á³À¸³ª ¿äÁîÀ½Àº ¼ÕÅéÅ©±âÀÇ Á¶±×¸¶ÇÑ °ø°£(ÇϳªÀÇ ÀÛÀº Ĩ)¿¡¼ ÀÌ·ç·Á°í ÇÏ°í ÀÖ´Ù. ÀÌ°ÍÀ» ·¦¿ÂĨ(Lap-on-a-chip)À̶ó°í ºÎ¸£¸ç ÀÌ Ä¨À» ÅëÇÏ¿© ¼öÃÊ~¼öºÐ³»·Î ºÐ¼®ÀÌ °¡´ÉÇÏ¸ç ½Ã·á ¹× ½Ã¾àÀÇ ¼Ò¸ð·®À» ÃÖ¼Ò·Î ÇÒ ¼ö ÀÖ¾î ¿î¿ëºñ¿ëÀ» Àý°¨ÇÒ ¼ö°¡ ÀÖ°í ºÐ¼®ÀÇ ÀÚµ¿È°¡ ¿ëÀÌÇÏ°í, ĨÀÇ ´ë·®»ý»êÀÌ ¿ëÀÌÇÏ¿© Á¦Á¶ºñ¿ëÀ» Àý°¨ÇÒ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç ´Ù¼öÀÇ ½Ã·á¿¡ ´ëÇÑ µ¿½ÃºÐ¼®ÀÌ °¡´ÉÇÒ ¼ö°¡ ÀÖ´Ù. Çö´ëÀÇ ±â±âµéÀº ÀÌ¿Í °°Àº ÀåÁ¡À» °¡Áö´Â ±â±âµéÀ» ¼ÒÇüÈ ÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç ÀÌÁ¦´Â ¸¶ÀÌÅ©·Î ´ÜÀ§ÀÇ ±â±â·Î ¹ßÀüÇØ°¡°í ÀÖ´Ù. ÀÌ·± ±â±âµéÀº ¹ÝµµÃ¼ Ĩ Á¦ÀÛ±â¼úÀ» ÀÌ¿ëÇÑ MEMS(Micro electromechanical systems)±â±â¿¡¼ º¼ ¼ö ÀÖÀ¸¸ç ´ëÇ¥ÀûÀ¸·Î ¸¶ÀÌÅ©·Î ÆßÇÁ, ¸¶ÀÌÅ©·Î ¹ëºê, ¸¶ÀÌÅ©·Î ¹Í¼, ¸¶ÀÌÅ©·Î ¸®¿¢ÅÍ, ¸¶ÀÌÅ©·Î ¿±³È¯±â µîÀÌ ÀÖ´Ù. |
|
|
|
|
||||
copyright(c) http://web.donga.ac.kr/kangjh allrights reserved |